MSE81 版 (精华区)

发信人: iuk (你快乐所以我快乐~~爱我所爱*无怨无悔~~), 信区: MSE81       
标  题: Re: 有人讲讲俄歇能分析什么东西？
发信站: BBS 听涛站 (Wed Mar 31 00:07:35 2004), 转信

俄歇电子是电子激发后退激发的一种
只能分析比较表面的成分，一般做表面分析
做多层膜也有，但是和原位的刻蚀技术结合的，像聚焦离子束FIB什么的
基本概念就是看看表面，然后打掉一层看看里面，再打掉一层。。。。

呵呵，我没有实践过。

【 在 fenlioy (高级位错) 的大作中提到: 】
: 不同深度的物质成分？
: 比方说，一个多层膜的结构，能分析出各层的成分、含量、厚度吗？
: 不知道从前电镜课上有没有讲过了，哪位给我讲讲...


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什么天地啊，四季啊，昼夜啊！
什么海天一色  地狱天堂  暮鼓晨钟
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——齐豫《飞鸟与鱼》    


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