MSE81 版 (精华区)

发信人: seabay (自导自研), 信区: MSE81       
标  题: Re: 请教一下SEM打能谱的问题
发信站: BBS 听涛站 (Mon May 10 17:50:17 2004), 转信

深度分布用能谱来测估计够戗
就算你制备了界面样品，x光在样品中扩散的范围就比300nm大

【 在 free (怀念奶奶~) 的大作中提到: 】
: 有好几个样品想测试元素的浓度深度分布
:                             深度怎么用能谱
: 测试深度约300纳米，元素为O Al Cu Ti Ar
: 能否用SEM打能谱？样品制备需要注意什么？必须掰断了测截面吗？
:    应该可以，不需要截面，只要表面平整一点就行了
: 截面的平整度要求高不高？为避免碰到探头是否还要保证样品截面的高度一样？
:    高度最好一致，实在不行就从低到高排列
: 哪位帮个忙吧，谢谢了


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                     从电脑到床是三步，
                     从床到电脑也是三步。
                                  －《209号》     
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