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发信人: linogil (不爱你不伤心), 信区: material
标  题: 欢迎大家选修《集成铁电学》课程
发信站: 听涛站 (2002年09月03日22:56:46 星期二), 站内信件

发信人: stmh (阳光下的草寇), 信区: DMSE
标  题: 欢迎大家选修《集成铁电学》课程
发信站: BBS 水木清华站 (Tue Sep  3 11:57:44 2002), 站内信件

课程介绍：
    集成铁电学是国际信息科学领域的新兴学术方向与热点，本课程为清华大学新设立
的前沿基础课，注重微电子学、物理学、材料科学等学科的交叉，新颖性和实用性是其
突出的特点。整个课程与科研前沿密切结合，课堂采用多媒体授课与讨论并重的方法，
并有讲义配合教学。课程主要内容如下：
第一编：集成铁电学的基本理论和方法（16学时）
主要介绍集成铁电学的基本概念、基本理论、基本方法、基本技术。
第一章绪论（2学时）
介绍集成铁电学产生的背景、基本概念、研究前沿与现状。
第二章集成铁电学的微电子学基础（2学时）
介绍半导体器件与集成电路发展简史，介绍与集成铁电学关系密切的微电子相关技术，
如集成电路工艺流程和光刻等微电子核心工艺及MEMS技术。
第三章铁电体的结构与基本性质（4学时）
介绍铁电体物理学的相关内容。如铁电体的基本结构、性质，铁电相变的宏观和微观理
论，铁电材料的分类等。
第四章集成铁电学中的薄膜制备工艺（2学时）
介绍各种铁电薄膜的主要制备方法：溅射法、激光闪蒸发（PLD）、Sol-Gel、CVD(MOCV
D)、其他方法（MOD、流延及丝网印刷等）等。介绍几种重要的铁电薄膜，如BST，PZT等
的制备技术。
第五章微加工技术与器件集成问题（2学时）
介绍几种主要微机械加工技术，如刻蚀技术、牺牲层技术、体硅腐蚀技术、LIGA技术等
，并介绍将硅基铁电薄膜与微电子技术相结合，实现集成铁电器件时的相关器件集成问
题。
第六章测试与表征（4学时）
与集成铁电器件相关的测试与表征方法。主要分两部分的内容：一是集成铁电器件中的
材料、微结构表征技术，如衍射分析、光谱分析、电子显微分析、电子能谱分析等；二
是集成铁电器件的电学特性测试与表征技术，如铁电材料介电压电常数、电滞回线、自
发极化强度、I-V特性、C-V特性、开关特性等的测量。
第二编：集成铁电学的应用（16学时）
主要介绍集成铁电学的几类重要的应用。
第七章铁电体在存储器中的应用（4学时）
介绍三类重要的硅基铁电存储器：FeRAM，FeFET，及采用BST等铁电材料的DRAM。
第八章压电与MEMS应用（4学时）
介绍利用铁电体的力电耦合特性实现微执行器（如微机器人、微马达、微泵、微悬臂等
）和微传感器（如压力传感器、加速度传感器、微陀螺、微麦克风等）器件的相关技术
。
第九陇K硅基集成压电铁电高频器件（2～4学时）
介绍压电铁电薄膜的微波和高频应用（体声波滤波器、声表面波滤波器、RF天线等），
以及利用铁电材料的high K、介电常数随电压可调等品质，实现可调微波器件（如可调
滤波器、谐振器和移相器等）的技术。
第十章热释电与光学相关应用（2学时）
介绍利用铁电体的热释电特性，实现红外探测器等的技术。
铁电体其他应用与研究前沿介绍，总结（2～4学时）
进行课程总结。
    本课程选课范围为清华大学微电子所、电子系、材料系、物理系、精仪系、电机系
、力学系等相关专业的研究生和本科生。同时也欢迎校外相关单位同学选修本课程。
课号：81020092
任课教师：任天令（清华大学微电子所）
上课时间：周五下午第一大节，下午1：30至3：20
上课地点：清华大学三教1307多媒体教室。

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