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发信人: feoh3 (氢氧化铁), 信区: material
标 题: 2007薄膜真题
发信站: BBS 听涛站 (Thu Jun 21 10:44:36 2007)
先bless还在考核材料的同学~~
feng爷爷真是厚道阿,暴多人一半时间就做完了
填空:
1. 有效抽速,填公式 5'
2. 空气,25摄氏度,P和lamda的乘积为常数,填这个常数是多少 5'
3. 热偶真空规和电离真空规测真空度的原理,就是测什么量怎么样跟真空度有关 10'
4. 他上课介绍过的5种薄膜以及每一种写一个应用方向 20'
5. 蒸发法,填沉积速率Re的公式 5'
简答:
6. 写出气体放电里alpha系数的量纲和gamma系数的表达式 5'
(那个表达式我问他是写定义式还是别的式他不说-_-)
7. 直流二级溅射镀膜的缺点及其原因 10'
8. 溅射、离子镀和PECVD都要用到气体放电,在气体放电条件下,1)提高镀膜质量,2)提高沉积速率,3)降低衬底温度 分别与哪些工艺参量有关 20'
9. 简述离子镀膜技术的特点 20'
(不枉我昨天看了3个小时的离子镀阿~~——还不是因为那节课在背单词啥也没听555)
个人感觉:
虽然薄膜每年的考题都几乎没有重复,但是知识点的范围是极其明确的~~~考题的覆盖面也
相当全
最重要的就是溅射和离子镀的原理、工艺,还有抽真空和蒸发的公式咯
over
--
当时明月在,曾照彩云归。
※ 修改:·feoh3 於 Jun 21 10:46:19 2007 修改本文·[FROM: 59.66.162.*]
※ 来源:·BBS 听涛站 http://tingtao.net·[FROM: 59.66.162.*]
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